Пиезорезистивни сензор притиска
Мерач отпора је једна од главних компоненти пиезорезистивног сензора напрезања. Принцип рада металног отпорног мерача напрезања заснива се на феномену да се отпор мерача напрезања адсорбованог на подлози мења са механичком деформацијом, опште познатом као ефекат деформације отпора.
Керамички сензор притиска
Керамички сензор притиска је заснован на пиезорезистивном ефекту. Притисак делује директно на предњу површину керамичке дијафрагме, изазивајући благу деформацију. Отпорник дебелог-филмског отпорника је одштампан на задњој страни керамичке дијафрагме, формирајући Витстонов мост. Због пиезорезистивног ефекта пиезорезистивног отпорника, мост генерише високо линеарни напонски сигнал који је пропорционалан притиску и такође пропорционалан напону побуде. Стандардни сигнали су калибрисани на 2,0/3,0/3,3 мВ/В, итд., у зависности од опсега притиска, и компатибилни су са сензорима за мерење напрезања.
Дифузни силицијумски сензор притиска
Принцип рада дифузног силицијумског сензора притиска је такође заснован на пиезорезистивном ефекту. Користећи овај принцип, притисак мереног медијума делује директно на мембрану сензора (од нерђајућег челика или керамике), изазивајући микро-померање дијафрагме пропорционално притиску медијума. Ово доводи до промене отпора сензора. Електронска кола детектују ову промену и емитују стандардни мерни сигнал који одговара том притиску.
Сафирни сензор притиска
Користећи принцип мерача напрезања, овај сензор користи силицијум{0}}сафир као полупроводнички сензорски елемент, који поседује метролошке карактеристике без премца. Због тога су полупроводнички сензори направљени од силицијум-сафира неосетљиви на промене температуре и показују одличне радне карактеристике чак и на високим температурама; сафир има јаку отпорност на зрачење; штавише, сензорни елементи од силицијум-сафирних полупроводника немају п-н помак.
Пиезоелектрични сензор притиска
Пиезоелектрични ефекат је главни принцип рада пиезоелектричних сензора. Пиезоелектрични сензори се не могу користити за статичка мерења јер се наелектрисање након примене спољне силе чува само када коло има бесконачну улазну импедансу. Пошто то у стварности није случај, пиезоелектрични сензори могу само да мере динамички стрес.